电化学方法刻蚀STM探针针尖工艺的研究

作者：管航敏; 冯燕; 王庆年

来源：金陵科技学院学报, 2021, 37(01): 55-60.

DOI：10.16515/j.cnki.32-1722/n.2021.01.011

• 电化学
• 刻蚀
• 扫描隧道显微镜
• 探针
• 针尖

探索了电化学法刻蚀扫描隧道显微镜(STM)显微针尖的工艺条件,考察了钨丝针尖的表面状况以及整体形貌,获得了制备具有理想纵横比针尖的最佳工艺条件。当刻蚀电压为5 V,钨丝浸入深度为2 mm,刻蚀溶液浓度为2 mol·L-1时,可得到具有理想纵横比的针尖。进一步以针尖的尖高、倾斜角、偏轴心、半径、锥角以及刻蚀电流平滑性为指标,考察了最佳工艺的稳定性。结果表明,最佳工艺条件下制备的钨丝针尖品质稳定,偏差小,重复性高。研究结果为我国高精度高分辨率STM工业化量产提供了数据支撑。

• 单位
  江苏第二师范学院; 化学化工学院; 金陵科技学院