ZTA陶瓷基板力学和光学性能的研究

作者：吴崇隽^*; 贺云鹏; 段明新

来源：电子元件与材料, 2020, 39(03): 88-93.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.03.015

• ZTA
• 陶瓷基板
• 断裂韧性
• 反射率
• LED

以α-Al2O3粉体为主相材料,添加不同含量的ZrO2 (体积分数0%～28%),采用流延成型工艺和常压烧结方法制备ZTA陶瓷样品,研究ZrO2的含量、气孔率、基板厚度以及白度对ZTA陶瓷基板力学和光学性能的影响。结果表明:随ZrO2含量增加,断裂韧性和抗弯强度呈现先增大后减小的趋势,ZrO2含量为体积分数20%时达到最大值,分别为5.7 MPa·m1/2和865 MPa;当ZrO2含量低于体积分数12%时,随气孔率增加,反射率升高;此外,ZTA陶瓷基板的厚度增加,反射率升高;白度下降,反射率也随之降低。最终制备出一种反射率达到100.7%,满足LED高光效需求的ZTA陶瓷基板。