ZnO压电薄膜声传感器的有限元分析

作者：曾雄; 杜晓松; 谢光忠; 蒋亚东; 李重阳

来源：传感器与微系统, 2007, (08): 14-15+19.

DOI：10.13873/j.1000-97872007.08.010

• 悬臂梁
• 压电薄膜
• 声传感器
• 有限元 cantilever beam
• piezoelectric thin film
• acoustic sensor
• finite element

阐述了ZnO压电薄膜声传感器的结构和工作原理,并用ANSYS 9.0对压电薄膜声传感器进行了静态分析、模态分析和谐响应分析。通过静态分析,得到压电薄膜声传感器的灵敏度为16.4 mV/Pa;模态分析得出了传感器的第一阶固有频率为12.379 kHz;谐响应分析则获得感应电压与动态外力频率之间的关系。这些分析为此类声传感器的设计提供了理论依据。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学