回转对称微结构光学模具的超精密切削B轴旋转加工工艺

作者：高兴; 李勇; 钟昊; 岳全; 李朝将

来源：清华大学学报, 2017, 57(02): 120-127.

DOI：10.16511/j.cnki.qhdxxb.2017.22.002

• 超精密切削
• B轴旋转加工工艺
• 回转对称微结构
• 光学模具
• 结构完整性

为避免回转对称微结构光学模具加工中产生的毛刺、尖角缺损及表面划痕,提出一种基于超精密切削的B轴旋转加工工艺。通过实验研究加工路径、切削速度、B轴旋转速度及切深等影响微模具面形精度和表面质量的主要因素,优化切削轨迹规划与加工参数,开展了2种微结构模具的加工实验,得到尺寸精度小于1.4μm、表面粗糙度小于14nm的结构完整性较好、表面无划痕的模具。实验结果验证了回转对称微结构光学模具B轴旋转加工工艺的可行性。

• 单位
  摩擦学国家重点实验室; 清华大学