一种精密气控系统的设计与实现

作者：于淼; 崔洋; 李佩玥

来源：国外电子测量技术, 2014, 33(07): 21-24.

DOI：10.19652/j.cnki.femt.2014.07.007

• 气路仿真
• 压力控制
• 流量控制
• QWT

介绍了一种精密气控系统的设计与实现方案,该系统通过智能算法将气源控制为恒定压力、流量的输出气体,满足半导体行业需求。首先,采用AMESim提供的元件设计库构建了气体控制回路动态仿真模型,调节回路内关键节点的气体压力和流量特性参数进行时域分析,以验证模型的正确性。其次,通过CompactPCI总线机箱执行实时采集和闭环控制,并利用QWT库实现人机交互图形界面。实验结果表明,该系统具有便携性、可配置性、实时性、高精度等特点,适用于低流量、高稳态氮气供给应用场景。

• 单位
  应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所