液相外延法制备的掺杂石榴石单晶薄膜

作者：李阳^*; 李俊; 陈运茂; 魏占涛; 刘庆元; 帅世荣; 蓝江河

来源：磁性材料及器件, 2023, 54(03): 17-21.

DOI：10.19594/j.cnki.09.19701.2023.03.003

• 石榴石单晶薄膜
• 液相外延
• 离子掺杂
• 饱和磁化强度

以高纯氧化物为原材料，采用液相外延法(LPE)制备直径3英寸、厚度20μm以上的掺杂钇铁石榴石(YIG)单晶薄膜，通过离子掺杂对薄膜的饱和磁化强度进行调控，范围为800～1750 G。X射线衍射分析表明薄膜仅有单一衍射峰，且半高宽值约为0.007°。磁性能测试结果表明，制备的薄膜饱和磁化强度可宽幅调控，且呈现明显的平面磁各向异性。同时对薄膜的截面及表面形貌进行观测，发现薄膜与衬底间界面清晰，薄膜表面粗糙度小于1nm，离子掺杂均匀，为后续的器件应用打下良好的基础。

• 单位
  中国电子科技集团公司第九研究所