摘要

本发明涉及一种薄基片厚度方向残余应力分布获取方法,包括:建立磨粒磨削分子动力学初始构型,得到三维尺寸分子动力学仿真模型;确定仿真参数,完成系统环境设置;对分子动力学模型进行散热处理,输出散热各个时刻粒子的位置与应力信息;选取规避边界的区域粒子,计算该区域各个粒子的等效应力,表征粒子残余应力;对所选区域残余应力进行厚度方向上的分析,将所选区域沿厚度方向分成多个层段,求解每个层段的残余应力,获得残余应力在厚度方向上的分布,得到残余应力最大值位置。本发明在分子动力学模拟磨粒磨削结束后进行了散热处理,消除了仿真磨削过程中热应力对残余应力的影响,可以直接准确得到粒子残余应力计算的相关信息。