以厚度0.1mm的1Cr18Ni9Ti不锈钢箔片为载体,在工作真空0.9Pa,O2、Ar分压比1∶6,基体温度270~280℃的条件下,用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜,并在420℃的氧气氛下进行热处理。XRD分析可见薄膜为TiO2锐钛矿和金红石复合晶型。测算表明TiO2复合晶中锐钛矿质量分数约64%,其晶粒尺寸约14nm。用“弯曲法”测试表明,膜基结合力强。由对气相甲醛降解试验可见,制备的TiO2薄膜具有较好的光催化活性。
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