DOE实验设计开发高效的光刻胶剥离液

作者：杨志锋; 王翔; 王旭

来源：丽水学院学报, 2019, 41(05): 16-21.

• 实验设计
• 混料试验
• 光刻胶
• 剥离液

通过混料实验设计筛选出合适的光刻胶剥离液体系及组份含量。对剥离液体系进行持续溶解监控,借助六西格玛过程控制分析确定更优的剥离液组合物。溶胶量的测试结果证明,含溶剂二乙二醚丁醚、N-甲基吡咯烷酮、乙醇胺及添加剂200的剥离液,其溶胶量可超4.1 m2/加仑,这样就可以减少光刻胶剥离液开槽次数,提高生产效率,降低成本。

• 单位
  西陇科学股份有限公司; 丽水学院