电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制研究

作者：刘猛; 王军波; 李玉欣; 陈德勇

来源：传感技术学报, 2010, (08): 1066-1069.

• 谐振式压力传感器
• 电磁激励
• 检测速度谐振频率
• 闭环控制
• 零相移 Resonant Pressure Sensor
• Electromagnetic excitation
• Speed resonant frequency
• Closed-loop control
• Zero-phase shift

在谐振器动力学分析的基础上,系统地比较了谐振式压力传感器检测速度谐振频率和检测位移谐振频率的优缺点。设计出一种零相移的电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制系统,该系统利用检测速度谐振频率提高传感器的信号检测稳定性,并且控制电路无需移相环节即可保证传感器在工作频率范围内实现稳定可靠的闭环自激。实验结果表明,采用该闭环控制系统的传感器具有较高的稳定性,传感器长时漂移低于0.025%F.S.,在10 hPa~1050 hPa范围内非线性度为0.06%。

• 单位
  中国科学院研究生院; 传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所