多晶硅生产废气处理的工艺技术

作者：徐李强; 张峰; 张景哲; 魏静; 李拂欢

来源：化工管理, 2023, (23): 130-132.

DOI：10.19900/j.cnki.ISSN1008-4800.2023.23.039

• 多晶硅
• 废气处理
• 氯硅烷
• 水洗法

多晶硅生产企业中因存在各种生产工艺，所产生的废气组分各有不同，对于不同组分或者不同性质的废气，如何选择一条更经济、更安全、性价比更高的工艺路线，将显得格外重要，文章介绍了多晶硅生产企业在废气处理单元根据不同工艺下废气处理工艺的选择策略。

• 单位
  陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司