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摘要
本发明涉及金属表面处理,特别是涉及滑动构件及轴承等铁基合金的低温模具表面处理,提供一种梯度结构类金刚石薄膜及其制备方法。本发明梯度结构类金刚石薄膜具有“纯金属层、第一梯度过渡层、金属氮化物层、第二梯度过渡层、碳化钨层、第三梯度过渡层以及表面层”的涂层结构；所述表面层为类金刚石层或含硅类金刚石层,本发明提供的类金刚石膜自在各层之间通过成分梯度控制,获得弹性模量和硬度的梯度控制,从而极大提高涂层的膜基结合力和抗分层剥落能力。
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本发明涉及金属表面处理,特别是涉及滑动构件及轴承等铁基合金的低温模具表面处理,提供一种梯度结构类金刚石薄膜及其制备方法。本发明梯度结构类金刚石薄膜具有“纯金属层、第一梯度过渡层、金属氮化物层、第二梯度过渡层、碳化钨层、第三梯度过渡层以及表面层”的涂层结构；所述表面层为类金刚石层或含硅类金刚石层,本发明提供的类金刚石膜自在各层之间通过成分梯度控制,获得弹性模量和硬度的梯度控制,从而极大提高涂层的膜基结合力和抗分层剥落能力。
