空调两器检漏设备氦气回收纯化装置的试验研究

作者：师铜墙; 黄卫; 滕健; 刘博涛; 吕继祥

来源：真空, 2020, 57(01): 48-50.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2020.01.09

• 空调两器
• 氦气检漏
• 回收
• 纯化

本文试验研究了一种针对空调两器检漏设备的氦气回收纯化装置,研究结果表明,该装置可以有效地将空调两器检漏设备内氦气纯度维持在80%以上,该工艺的氦气使用量约为6.7m3/天,远小于未使用该工艺时系统因纯度低而排放的氦气量(约128m3/天),考虑到企业实际使用该装置的经济性要求,提出了该装置后续工艺优化的方向。