科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
基于128°YX铌酸锂压电衬底设计制作了窄带、高Q值的水平剪切声表面波(SH-SAW)谐振器，研究了其温度特性，并基于该谐振器制作了无线温度传感器。研究结果表明，该SH-SAW谐振器在常温至250℃内保持良好的谐振性能，频率温度系数为-24.33 kHz/℃。基于该SH-SAW的无线温度传感器在常温至250℃温度范围内实现了温度的准确无线测试，测温误差为0.93%,且具有良好的重复性。
-
单位中国核动力研究设计院; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
