摘要

本文介绍一种水平脉冲非析氧不溶性阳极填孔技术,通过研究氧化还原电子对和有机添加剂,使其适用于水平线不溶性脉冲电镀铜填盲孔工艺。此技术有效电流密度达到4~5安培/平方分米(ASD),电镀时间可短至20~35分钟,面铜厚度仅为8μm左右。各项可靠性指标满足行业要求。电镀体系中含过渡金属氧化还原对,提供阳极电子交换的媒介,因此阳极不析氧,可以通过纯铜粒子补充铜离子消耗,电镀槽中无阳极泥问题,纯铜粒在生产线外的溶铜槽进行补充,易于添加,保养时间短,改善生产线工作环境,目前已实现量产应用。