集成电路制造企业研磨废水处理实验研究

作者：徐子义; 盛勇; 柳晋清

来源：环境保护与循环经济, 2022, 42(08): 28-31.

• 研磨废水
• 絮凝法
• Fe3O4磁种

利用 Fe3O4磁种对集成电路制造企业研磨废水进行絮凝法处理，具有较好的沉降效果。最佳处理实验条件为：系统 pH为 3.0 或 4.0、外加磁场强度为 0.20 T、Fe3O4磁性颗粒重复利用 2 次、Fe3O4投加量为 6 g，此时系统浊度和总硅去除率分别可达99.22%与 99.79%。江苏某集成电路制造企业采用 Fe3O4磁种絮凝法工艺对研磨废水进行处理，年运行费用可节约 40 万元，经济效益显著。