气体动态稀释装置的可靠性评价

作者：吴雨彤; 毕哲; 杨扬仲夫; 马浩淼; 吴海^*

来源：计量学报, 2021, 42(07): 956-963.

• 计量学
• 气体稀释装置
• 标准气体
• 稀释比
• 不确定度

基于质量流量控制器(MFC)搭建了一套稀释装置,并通过高精度甲烷光谱仪验证了该装置的可靠性。试验结果表明,稀释比为0.01～0.02时,理论稀释浓度的相对误差不超过±4%;稀释比为0.04～0.1时,理论稀释浓度的相对误差在±0.5%以内。因此,稀释比很小时稀释装置的准确性欠佳。MFC上游输入气体压力变化对其输出气体流量存在影响,当输入压力在0.2～0.6 MPa范围内变化时,MFC输出气体流量变化极差不超过1%,由此导致稀释装置输出的标准气体浓度的变化不超过1%。使用稀释装置制备标准气体时,优先设定MFC在满量程10%以上的范围内工作,以保证稀释装置的可靠性。

• 单位
  中国计量科学研究院