基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计

作者：邓玖根; 张正荣; 胡松; 唐小萍; 马平

来源：微纳电子技术, 2007, (12): 1082-1086.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2007.12.005

• 光刻机
• 底面对准
• USB2.0
• 复杂可编程逻辑器件

介绍了光刻机底面对准系统的基本原理,并分析了传统底面对准系统存在的缺点,给出了基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准新系统的设计方案。论述了系统硬件和软件的实现,并对其中的关键模块进行了深入分析。与传统底面对准系统相比,该对准系统成本降低约70%,同时,系统的可靠性大幅提高。实验表明,该系统的底面对准精度达到0.25μm,满足系统设计要求。

• 单位
  中国科学院光电技术研究所; 中国科学院研究生院