混合配体配合物胍基脒基镧的合成及性能研究

作者：谢乾; 丁玉强^*

来源：合成化学, 2023, 1-12.

DOI：10.15952/j.cnki.cjsc.1005-1511.23038

• 胍基
• 脒基
• 前驱体
• La_(2)O_(3)
• 化学气相沉积
• 薄膜材料

La_(2)O_(3)薄膜材料应用广泛，而制备La_(2)O_(3)薄膜的前驱体合成面临着挑战，多数现有前驱体热稳定差、合成路线复杂或者成本高。因此，本文报道了混配型和均配型的胍基、脒基镧配合物二(N，N’-二异丙基-甲胺基胍基)一（N，N’-二异丙基戊基脒基）合镧（配合物1）和三(N，N’-二异丙基-甲胺基胍基)合镧（配合物2），通过~(1)H NMR， ~(13)C NMR表征结构；通过热重分析（TGA）研究所有配合物的热稳定性和挥发性。结果表明配合物1在加热至170.0 ℃时，其蒸气压会急剧上升；在202.0 ℃能产生1.0 Torr的蒸气压；在260.0 ℃以下该配合物有良好的热稳定性，以上数据说明该配合物比较好地满足CVD工艺条件，是一种潜在的化学气相沉积前驱体；通过CVD技术，在源加热温度210 ℃、沉积温度为260.0 ℃、沉积时间为10.0 min的条件下得到约11.9 nm薄膜，SEM和XPS分析了薄膜的形貌和成分，实验结果表明沉积的纳米薄膜为高纯的La_(2)O_(3)薄膜。

• 单位
  江南大学; 化学与材料工程学院