科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明公开了一种激光六自由度运动误差同步测量系统,是由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构,固定单元安装在固定平面上,移动测量单元安装在线性位移平台上,以激光器为光源,以四象限光电探测器和二维位置探测器为检测器件,实现线性位移平台的俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、竖直直线度及位移的同时测量,通过设置光束角度漂移检测模块有效消除光束角度漂移对俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、垂直直线度误差和位移测量精度的影响；本发明结构简单、成本低,可同时实现线性位移平台六自由度运动误差的在线测量。
- 单位
