交/直流薄膜方块电阻测试系统设计与分析

作者：陈明武; 王亚林; 冯金良; 王尚前; 刘剑; 王可^*

来源：半导体技术, 2024, 49(01): 85-90.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2024.01.010

• 范德堡法
• LabVIEW
• 交流
• 直流
• 方块电阻

四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点，被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域。为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度，以改进的范德堡法原理为基础，采用压控电流源方式输出稳定的电流，利用LabVIEW软件搭建了一套能使用交/直流测量薄膜方块电阻的测试系统。为了验证该测试系统的合理性及测试速度，选取Pt金属薄膜作为被测样品进行方块电阻的测量。测试结果表明，直流法和交流法都能精确测量薄膜方块电阻，直流法和交流法的单次测试时间分别为0.378 s和0.317 s,系统的测试速度优于商用280SI半导体设备。交流法测试Pt金属薄膜方块电阻的抗干扰能力比直流法强。该系统为被测样品选取合适的测试电流和测试方法提供了参考，对薄膜样品进行变温电阻率连续测量具有重要意义。

• 单位
  东华理工大学; 电子工程学院