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摘要
背散射分析是一种定量的、对重元素敏感的离子束分析技术，用于分析固体材料的近表面区域．简述了背散射分析的基本原理、实验装置及具体实验过程，详述了SIMNRA软件在背散射能谱分析中的使用方法．以具体的实验为例，描述了测定薄膜样品的成分及厚度，以及离子注入掺杂样品的杂质浓度及深度分布的测量方法，利用SIMNRA软件对背散射谱进行了模拟分析，模拟结果与实验数据符合较好．实验表明，背散射分析可精确测量薄膜样品的厚度和掺杂样品中的杂质分布．
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单位核物理与核技术国家重点实验室
