溶液法制备IGZO/IZO薄膜的电学特性研究

作者：殷波; 李勇男; 潘东; 汤猛; 向超; 钟传杰^*

来源：微电子学, 2018, 48(04): 537-554.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.170430

• 溶液法
• 退火
• IGZO
• 界面态

基于溶液旋涂法、高压退火工艺,制备了非晶铟镓锌氧化物(IGZO)薄膜、铟锌氧化物(IZO)薄膜和双层IGZO/IZO薄膜,研究了这些薄膜的电学特性。结果表明,在相同制作工艺下,IGZO单层薄膜的电流随外加恒流源时间的偏移不明显,而双层IGZO/IZO薄膜的电流随外加恒流源时间的偏移较大。退火温度在240℃300℃范围内,电流的偏移量随温度升高而减小,回滞幅度也减小。薄膜的界面态对薄膜器件的I-V特性有较大影响,升高退火温度可改善IGZO/IZO双层薄膜界面特性。

• 单位
  机械工业第六设计研究院; 江南大学