Rubbing工艺微观缺陷检测与效率提升

作者：胡鹏; 王晓峰; 寇建龙; 罗天月; 刘凯祥; 王文浩; 尤雷; 付正德; 孙慧

来源：电子世界, 2021, (16): 87-90.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2021.16.041

<正>星型破损是TFT-LCD行业的摩擦配向工艺(Rubbing)顽固不良,特别在10.5代线人眼检查检出率<10%,成本Loss极高。由于不良缺陷在0.5～10mm之间,基板图案复杂干扰点多,常规图像面检查,过检率高,达不到使用目的。本文通过特殊的粗/精定位图像二值化处理方法,对玻璃基板微观缺陷的密集的显示区进行提取,将缺陷检出率提高到99.7%,过检率降低到平均2.4%。