ZnO同质p-n结的研究

作者：杨晓杰; 许小亮; 谢家纯; 徐传明; 徐军; 刘洪图

来源：真空科学与技术学报, 2005, 25(z1): 101-104.

DOI：10.3969/j.issn.1672-7126.2005.z1.026

• ZnO薄膜
• 同质
• p-n结
• p型

调节反应气体中O2的比例和RF电源的功率可以增加本征施主V0的形成焓,降低本征受主VZn和Oi的形成焓,制备出p型ZnO薄膜;采用掺杂金属Al制备出低电阻n型ZnO薄膜,在此基础上得到性能可观的ZnO同质p-n结.

• 单位
  中国科技大学; 中国科学院