激光掺杂制作选择性发射极电池扩散工艺的研究

作者：马红娜; 赵学玲; 张红妹

来源：光电子技术, 2016, 36(04): 270-282.

DOI：10.19453/j.cnki.1005-488x.2016.04.012

• 激光掺杂
• 选择性发射极电池
• 三氯氧磷扩散
• 方块电阻

研究了激光掺杂制作选择性发射极电池的三氯氧磷(POCl3)扩散工艺。优化扩散时间、气体流量和温度控制参数,结合三氯氧磷扩散后磷硅玻璃(PSG)层中磷浓度、扩散层深度、表面掺杂浓度、扩散后方阻及激光后方块电阻的测试,得到了合适的三氯氧磷扩散工艺。与未采用优化工艺的电池相比,光电转换效率提升约0.3%。

• 单位
  英利能源(中国)有限公司