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摘要
主要综述了NbN单层膜、NbN基复合薄膜及多层薄膜的研究现状，详细叙述了NbN单层薄膜、NbN基复合薄膜和多层薄膜的微结构、力学性能、抗氧化性能、耐腐蚀性能和摩擦磨损性能，并重点阐述了NbN多晶结构、元素掺杂对NbN基复合薄膜的性能影响和多层膜的超硬效应机理。指出复合、多层陶瓷薄膜具有单一NbN薄膜无法实现的优点，复合、多层陶瓷膜将依然是未来NbN基陶瓷硬质薄膜的研究方向，最后对NbN基陶瓷硬质薄膜的发展和应用前景进行了展望。
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单位滁州城市职业学院; 江苏科技大学
