微光显微镜(EMMI)在器件失效分析中的应用

作者：丁鸷敏; 吴照玺; 段超

来源：电子显微学报, 2019, 38(02): 156-158.

• EMMI
• 元器件失效分析
• 缺陷定位

本文对某款模拟开关开展失效分析,在芯片表面无异常的情况下采用微光显微镜(EMMI)对器件内部损伤点进行准确定位,并开展静电模拟试验对失效原因进行了验证。该案例展示了EMMI在半导体芯片内部缺陷无损定位和分析中的作用,为半导体芯片失效分析提供技术手段。

• 单位
  中国空间技术研究院