光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究

作者：陈华; 苏东奇; 隋永新; 章明朝; 田伟; 杨怀江; 张巍

来源：光学学报, 2014, (08): 139-142.

• 成像系统
• 热像差
• 主动补偿
• 光刻机
• 投影物镜 imaging systems
• thermal aberration
• active compensation
• lighography
• projection lens

非均匀照明导致的热像差是光刻机投影物镜工作过程中成像性能劣化的主要因素,对其补偿是必要的。针对物镜热像差的补偿问题,提出了分区式加热补偿镜的方案,利用玻璃材料折射率随温度变化的特点,采用电薄膜加热器在镜片的周围加热,从而产生可控的波前变化以补偿物镜由照明引起的热像差。建立了补偿方案的理论模型,并以一片平板透镜为对象开展了实验验证,实验结果表明,补偿前后镜片的波前由12.52nm[均方根(RMS)]变化至2.95nm(RMS),表明该补偿方案是可行、有效的。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室