各向异性择优取向薄膜的椭偏光谱术理论

作者：刘毅; 莫党; 张曰理; 何振辉

来源：中山大学学报(自然科学版), 2004, (06): 85-88.

• 椭偏光谱
• 薄膜
• 各向异性 spectroscopic ellipsometry
• thin film
• anisotropy

推导出一组具有特殊择优取向的各向异性薄膜的椭偏公式,并以光轴沿着薄膜表面及光轴垂直薄膜表面的各向异性薄膜为例,分别在透明和吸收波段进行模拟计算,得到了椭偏谱的基本特征。

• 单位
  光电材料与技术国家重点实验室; 深圳大学; 中山大学