薄膜压电材料压电系数测试方法研究进展

作者：任仲豪; 周慎杰^*

来源：传感器与微系统, 2020, 39(10): 1-4.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)10-0001-04

• 压电薄膜
• 压电系数
• 高通量测试

基于国内外研究成果,对薄膜压电系数测试方法进行了分类介绍,如基于正压电效应的垂直压力加载法、气动加载法、悬臂梁法和基于逆压电效应的激光干涉法、显微镜法,X射线衍射法,还有采用间接测量的体声波和表面声波法、复合谐振法等。基于压电系数测试研究现状,汇报了测试方法的最新研究进展。随着高通量实验的快速发展,高通量测试方法已经逐渐成为材料测试的发展方向。对于压电薄膜压电系数的高通量测量,悬臂梁法以及X射线衍射法有望实现多个试样并行测试,显著提高实验效率,可以为材料模拟计算提供数据支持,同时对模拟计算的结果提供实验验证。

• 单位
  山东大学