选择性阳极键合技术在光栅陀螺中的应用

作者：郝飞帆; 李孟委^*; 王俊强; 金丽; 耿浩

来源：焊接学报, 2020, 41(12): 61-101.

• MEMS陀螺
• 阳极键合
• 静电吸合
• 键合强度

阳极键合技术广泛应用在晶圆级MEMS器件制造和封装当中,对于有悬臂梁结构器件容易在键合时发生吸合.采用选择性阳极键合技术防止陀螺在键合中吸合失效.推导了陀螺梁与玻璃的静电吸合电压公式并建立吸合电压与硅结构-玻璃间隙关系模型.采用深硅制作陀螺结构,在玻璃基底溅射Al/Cr制作光栅,最后进行阳极键合.结果表明,键合界面没有缺陷,铬及其氧化物导电抗吸合性使得硅-玻璃阳极键合未发生静电吸合失效现象,对样品进行抗剪强度测试,得出平均键合强度为33.94 MPa,键合质量良好.

• 单位
  中北大学