基于有限元方法MEMS陀螺仪环境应力仿真分析

作者：宋斌; 柳华光

来源：中国仪器仪表, 2018, (12): 64-67.

• 微机电系统
• 陀螺仪
• 有限元方法
• 振动冲击

建立了MEMS陀螺仪叠成封装结构有限元模型。采用商业有限元软件分析MEMS陀螺仪在温度循环,随机振动,机械冲击下的应力情况,以提高MEMS陀螺仪在环境应力下的可靠性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所; 武汉大学