电解-萃取组合工艺处理废磷酸蚀刻液

作者：陈艳锋

来源：广东化工, 2019, 46(14): 137-150.

• 废磷酸蚀刻液
• 电解
• 萃取
• 磷酸三丁酯

采用电解-萃取组合工艺,以薄膜晶体管液晶显示屏生产过程中产生的废磷酸蚀刻液为研究对象,考察电解对废磷酸蚀刻液的脱色和杂质去除效果,并研究以磷酸三丁酯-30%煤油作为萃取剂时,对废磷酸蚀刻液的萃取效果。实验结果表明:在温度40℃,极板间距10 mm,电流密度为10 mA/cm2的条件下电解15 min,废磷酸蚀刻液的透光率达到85%;以磷酸三丁酯-30%煤油作为萃取剂,在温度40℃,相比为4的条件下萃取15 min,磷酸的萃取率达到62.2%。