1024×1024元帧转移纵向抗晕CCD图像传感器

作者：钟玉杰; 杨洪^*; 易学东; 吴雪飞; 谷顺虎; 张娜

来源：半导体光电, 2023, 44(01): 14-17.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2022082101

• 纵向抗晕
• 帧转移
• 电荷耦合器件
• 图像传感器

帧转移电荷耦合器件(FTCCD)主要应用于可见光信号探测，其在强光应用场合容易出现光晕现象。针对该问题，研制了帧转移纵向抗晕CCD图像传感器，该器件阵列规模为1 024×1 024元，像素尺寸为12μm×12μm。为了实现纵向抗晕功能，采用了n型埋沟-鞍形p阱-n型衬底结构，纵向抗晕倍数为200倍，器件满阱电子数为大于等于200 ke-,读出噪声小于等于80 e-,动态范围大于等于2 000∶1。