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摘要
针对掺铥光纤激光器泵浦源的需求，研制了波长为793 nm的高功率半导体激光芯片和尾纤耦合模块。激光器外延采用了非对称大光腔的波导结构，降低了模式损耗，波导采用无铝的GaInP材料，结合真空解理钝化工艺提高了腔面损伤阈值。通过外延结构和腔面镀膜的优化，研制的激光器单管输出功率达到12 W@11A，在输出功率8W时通过了300 h老化测试。采用7只单管制备了尾纤耦合模块，耦合至100μm NA. 0.22光纤中，输出功率为40W@7A，电-光效率为49.5%@40 W。
- 单位
针对掺铥光纤激光器泵浦源的需求，研制了波长为793 nm的高功率半导体激光芯片和尾纤耦合模块。激光器外延采用了非对称大光腔的波导结构，降低了模式损耗，波导采用无铝的GaInP材料，结合真空解理钝化工艺提高了腔面损伤阈值。通过外延结构和腔面镀膜的优化，研制的激光器单管输出功率达到12 W@11A，在输出功率8W时通过了300 h老化测试。采用7只单管制备了尾纤耦合模块，耦合至100μm NA. 0.22光纤中，输出功率为40W@7A，电-光效率为49.5%@40 W。
