固态纳米孔高能束制造方法

作者：陈威; 郑李娟; 艾思棋; 刘佑明; 王成勇; 袁志山^*

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2023, 43(01): 1-9.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0009

• 固态纳米孔
• 高能束制造
• 制造方法

固态纳米孔因具有机械性能好、稳定性强、形状易控的优点，在基因检测、蛋白质检测、能量转换、物质分离以及水净化等领域显示出巨大的潜力，并引起众多研究人员关注。其中，形状可控、高效的固态纳米孔制造技术是现实固态纳米孔应用的前提。目前，在常见的固态纳米孔制造方法中，高能束制造方法具有高效率、高精度、高可控制造的优势。本文重点概述高能电子束、聚焦离子束、激光刻蚀法和离子径迹刻蚀法等4种固态纳米孔制造方法及其基本原理，并讨论上述方法的优缺点及其大规模可控制造的可行性。

• 单位
  广东工业大学