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摘要
微结构传感器是具有以微尺度结构作为敏感单元，能将外界物理、化学、生物信号转化为电信号的传感器，已广泛应用于智能机器人、健康监控、虚拟电子等领域。目前，微结构传感器的制造方法主要有激光制造技术、MEMS技术和3D打印技术等。激光制造技术是将高能光子束聚焦到被加工物上，使激光与物质相互作用的一种绿色加工方法，主要包括激光烧蚀、激光直写、激光诱导和激光-倒模复合加工等，具有非接触式加工、无掩膜版、可定制化制造等优势，通过优化激光加工工艺参数，可以实现不同尺寸和形状微结构的高效低成本制造。本文对微结构的类型、功能及制造技术进行了概述，同时对激光制造技术制备的微结构传感器进行了归纳分类，详细分析了生物电传感器、温度传感器以及压力传感器的制造技术及应用，最后对微结构传感器激光制造技术的发展趋势进行了总结与展望。
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单位厦门大学; 流体动力与机电系统国家重点实验室
