氮化镓纳米片的制备及测试表征

作者：蔡晓平; 沈鹏飞; 崔真; 李恩玲; 高春昱

来源：中国测试, 2023, 50(S1): 174-177.

DOI：10.15988/j.cnki.1004-6941.2023.11.004

• 二维材料
• GaN
• 化学气相沉积(CVD)
• 液态金属

二维GaN纳米结构的制备对二维GaN基电子、光电子等纳米器件具有重要意义。文章用化学气相沉积（CVD）制备二维GaN纳米片时用了液态金属催化剂，成功制备二维GaN纳米片，得到制备GaN纳米片的最佳工艺条件。通过对制备的GaN纳米片进行扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)以及X射线衍射仪(XRD)测试表征，结果表明制备的GaN纳米片是表面光滑、大小薄厚均匀、结晶度良好的六方钎锌矿结构GaN纳米片。

• 单位
  陕西省计量科学研究院; 西安理工大学