以EIS结构为基础,研究高分辨率光扫描型二维pH图象传感器及其敏感膜-溶液界面势与pH值的关系.重点研究了传感器芯片结构、制作工艺以及测量系统与测试条件对传感器输出光电压的影响;并在优化的测试条件下,对溶液二维pH值进行了分布测量,给出传感器对pH值的瞬态响应及pH值二维分布的灰度图.