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高功率脉冲磁控溅射制备氮化钛薄膜的初步探究

作者：李雪萍; 匡同春; 曾德长; 蔡盼盼; 谭超林; 邓阳; 周克崧
来源：中国,广东省,广州市.

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更新时间：2019-06-28 10:13