一种自滤光可见盲硅兼容的红外光电探测器

作者:于永强; 夏宇; 张浩; 张涛; 许高斌; 陈士荣; 马渊明
来源:2020-09-09, 中国, ZL202010941530.1.

摘要

本发明公开了一种自滤光可见盲硅兼容的红外光电探测器,该探测器的结构为:以单晶硅衬底为基底,单晶硅衬底的上表面刻蚀为硅微孔阵列结构;在单晶硅衬底的下表面转移有一层石墨烯薄膜,形成硅-石墨烯肖特基结;在石墨烯薄膜的下表面设置有量子点层。本发明的光电探测器具有自驱动、可见光盲、近红外窄带响应、响应速度快等优势,同时还具有兼容性强、稳定性高、易制备、成本低等优点。