锆钛酸铅成分梯度薄膜的介电及铁电性能研究

作者：李建康; 姚熹

来源：压电与声光, 2006, (04): 452-454+457.

• 成分梯度薄膜
• 锆钛酸铅
• -εV及tan-δV compositionally graded thin films
• Pb(Zr
• Ti)O_3
• ε-V and tan δ-V

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr,Ti)O3成分梯度薄膜。经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,结果证实其成分梯度的存在。经XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变。经介电温谱测试表明,随着温度的升高,梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点,同时出现一定的频率弥散现象。经-εV特性曲线测试表明,梯度薄膜的介电常数-电压(-εV)及介质损耗-电压(tan-δV)曲线呈现典型的双峰特性,并且左右不对称。经不同偏压下电滞回线的测试表明,梯度薄膜表现出...

• 单位
  苏州科技大学; 西安交通大学