变频组件LTCC基板内埋宽带滤波器的性能优化

作者：陈晓勇; 钱超; 常勇超

来源：电子工艺技术, 2021, 42(04): 220-235.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2021.04.009

• 变频组件
• LTCC基板
• 宽带
• 内埋滤波器

LTCC基板内埋滤波器是实现变频组件小型化的有效手段之一。重点研究了LTCC基板内埋宽带滤波器15～16 GHz频带内掉坑问题。运用因果图定位到了8条末端因素,结合HFSS仿真结果,确认了主要原因为印刷图形间距超差和撕膜后生瓷片收缩量大。通过调整网版印刷方向和监控刮刀刀口磨损程度,优化印刷图形质量。从撕膜参数、生瓷预处理和浆料干燥方式共3个方面,对撕膜后生瓷片形变量进行有效控制。滤波器测试结果表明,15～16 GHz频带内掉坑问题得到了有效解决。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所