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摘要
为了提升深紫外激光二极管（DUV LDs）的载流子注入效率,优化其工作性能,本文提出了阶梯型超晶格（SSL）电子阻挡层（EBL）和楔形（WS）空穴阻挡层（HBL）结构。使用Crosslight软件分别仿真了具有矩形EBL和HBL、矩形超晶格（RSL）EBL和塔形（TS）HBL以及SSL EBL和WS HBL的DUV LDs。仿真结果表明,SSL EBL和WS HBL更有效地增加了量子阱（QWs）中的载流子注入,减少了非有源区的载流子泄露,提高了辐射复合率,降低了阈值电压和阈值电流,提高了DUV LDs的输出功率和电光转换效率。
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