<正>(接2016年第2期第80页)由此得出电子在磁控溅射中磁场作用域内三维方向的自由运动情况(即不考虑与其它粒子相互碰撞等作用)如下:x方向(横向:跑道断面与靶水平的方向,指向内侧的为正):围绕磁力线的在两极间的变幅螺旋往复振荡(在两极附近回旋半径最小,在走廊中心线处回旋半径最大,其本身就是xyz的三维运动);y方向(竖向:垂直靶面的方向,离开靶面朝外的方向为正):恒有一个离开靶面的速度分量;z方向(纵向:电漂移方向,即E×B方向为
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