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摘要
本发明公开了一种基于石墨烯模板上AlGaN纳米柱基MSM型紫外探测器及其制备方法。所述紫外探测器包括由下至上的衬底、石墨烯模板层、AlGaN纳米柱、与AlGaN纳米柱间形成肖特基接触的Ni第一金属层和Au第二金属层,还包括填充AlGaN纳米柱中的Si-3N-4绝缘层,且Ni第一金属层和Au第二金属层作为电极材料组成叉指电极。AlGaN材料的禁带宽度可根据Al组分的不同从3.4 eV到6.2 eV连续可调,因而可对波长为200 nm到365 nm的光进行有效探测,具有良好的日盲特性；本发明的紫外探测器对UVA-C紫外光具有十分高的灵敏探测,可应用于紫外导弹制导、明火探测和太阳照度检测等领域。
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