随着器件尺寸进入深亚微米,器件的热效应现象也越明显。因此,研究微波器件在热应力条件下的性能很重要。针对GaAs PHEMT微波器件结构及特性,文中首先研究其噪声的基本测试条件,并制定噪声测试方案,该测试方案包括放大器的选择和噪声测试平台的搭建。然后分析GaAs PHEMT器件在高温应力前后的噪声及电学特性,并通过拟合得到器件的1/f噪声、G-R噪声、特征频率及频率指数。最后,得到各噪声频率范围及1/f噪声随温度的变化规律。
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