上海光机所在激光抛光熔石英元件方面取得新进展

来源：润滑与密封, 2021, 46(01): 116.

<正>近期,中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队结合化学深刻蚀和激光抛光对精磨后的熔石英玻璃进行加工,获得了具有超光滑表面和高激光损伤阈值的熔石英元件。相关研究成果发表于Optics Letters。熔石英元件的紫外激光损伤是制约高功率激光系统发展的关键问题。熔石英玻璃的传统加工方法历经成型、研磨和机械化学抛光等工艺手段,该方法实现超光滑表面耗时长,且易引起元件的表面和亚表面缺陷,导致元件的表面损伤阈值大幅降低。