高分辨率主动驱动型氮化镓基Micro-LED芯片的制备

作者：黄铭水; 聂君扬; 刘明洋; 李洋; 潘魁; 邓俐颖; 杨天溪; 黄忠航; 孙捷^*; 严群; 郭太良

来源：液晶与显示, 2022, 37(12): 1553-1560.

• Micro-LED
• 高分辨率
• 倒装芯片
• 刻蚀

本文设计并制备了一款分辨率为1 920×1 080的氮化镓基Micro-LED芯片。采用单次ICP(Inductively Coupled Plasma)刻蚀的方法完成电流扩展层的图案化和台面刻蚀，实现了电流扩展层和台面的自对准。同时，在制作过程中用HMDS(Hexamethyldisiloxane)提高光刻胶附着力，从根本上提高小尺寸台面刻蚀的一致性和完整性。此外，通过垫高N型电极解决了传统倒装芯片中P型电极和N型电极不等高的问题，有利于显示芯片与驱动芯片的键合。该芯片尺寸为17.78 mm(0.7 in)，发光单元尺寸为6μm，像素周期为8μm，像素密度达到3 129 PPI。I-V测试数据表明，所制备的Micro-LED的开启电压仅为3.5 V。

• 单位
  西安交通大学